裝置的主要功能件有無油壓縮機、真空泵、無油真空泵、制冷冷凝系統、幹燥過濾再生器、加熱器、凈化器、過濾器、管道、閥門、儀表控制、電氣控制以及結構件，框架面板、走輪和貯罐等。

 

　　高精度SF6氣體回收凈化裝置主要部件及優點

 

　　（1）設計先進，功能齊全，結構合理，自動控制。

 

　　（2）壓縮系統：采用SF6無油封閉高壓壓縮機，無泄漏。

 

　　（3）抽真空系統采用雙級旋片式真空泵，在系統中設有自動防止返回油裝置。

 

　　（4）凈化系統采用日本CKD公司原理過濾器，過濾器采用電加熱及內裝吸附劑，提純凈化效果更顯著，能去除空氣CF4等(無需頻繁更換吸附劑)。

 

　　（5）裝置電氣系統三相電源自動確認、斷相自動保護。

 

　　（6）裝置控制系統采用新技術的SF6專用閥門

 

　　（7）貯存系統按用戶要求配置250KG貯液罐。

 

　　（8）設備采用移動式。